在線咨詢
點擊這里給我發消息
點擊這里給我發消息

ULVAC真空泵

產品詳情
ULVAC真空泵主要有以下型號:
VSN1501,VSN2401,NB2400B,NB1200A,NB600A,NB300A,NB100A,VDN601,VDN901,VDN401,VDN301,GLD-N280,GLD-N051,GLD-N201,GLD-N136,PVD-N360,PVD-N180,NRL60A,NRL90A,NRL180A,
特點:實現了低噪音
由于徹底的低噪音設計和精密的加工,從而達到了低噪音化。
優秀的保養、維修性能
為使日常保養工作方便容易,油量確認、油補充、油更換的方向為同一操作方向。
為使油的補充期延長,采用了2.5~4.0升可變油量方式。
能對應全壓強領域的連續運轉
采用高吸氣壓強也能穩定運轉的強制供油方式和氟橡膠密封件。選用油霧過濾器、油返回機構后,就能在大氣壓以下的全壓強范圍內連續運轉。
NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
低噪音、低振動
優良的耐腐蝕性
標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。
可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。


用途
鍍膜、濺射、離子鍍
氣體置換、充填、真空隔熱
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
分析機器、檢漏裝置
真空包裝、真空吸附
搬運、真空成形、真空鑄造等
活性氣體(CVD、刻蝕等)
排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)
用于產生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵)
冷凍干燥等水蒸氣排氣
曾道人期期一码两码中特